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應用及案例

● 大學/研究所
● 真空行業及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量

產品特色

數字化產品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
可選高精度：可優于0.5%
 量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms(可調)
內置98種氣體
現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣