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富士金氣體質量流量計T1000系列
具有高精度、快速響應、價格低廉、零漂低等特點。不僅滿足半導體、微電子、玻璃鍍膜、陽能電池等行業，還可以滿足鋼廠、電廠、石化等行業的要求
規格參數
1. 多氣體多量程（MG/MR）功能
2. 可在客戶端簡單打盾進行氣體種類/流量變更，從10sccm至50slm
3. 高精度：±1%S.P.（100-25%），±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保證范圍15-35℃)
4. 再現性：±0.2% F.S
5. 強耐腐蝕性
6. 輸入輸出信號:模擬（0-5VDC）/RS-485、Device Net
7. 全量程范圍、響應速度快，≤1sec
8. 密封材質：金屬密封/橡膠密封
9. 閥門種類：NO常開NC常閉型
10. ***大動作壓力：400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐壓：1MPa
12. 使用溫度：5-50℃
13. 金屬密封外部泄漏率：1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡膠密封外部泄漏率：1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材質：SS316L不銹鋼
16. 接口方式：1/4vcr金屬面密封連接，卡套連接